ニコンは3月17日，主に証券会社のアナリストを対象とした，半導体露光装置の技術説明会を開催した。内容のほぼすべてが，ダブル・パターニング（double patterning：DP）用のArF液浸露光装置「NSR-S620」（Tech-On ! 関連記事1）についてだった。説明者の同社 取締役兼専務執行役員 精機カンパニープレジデントの牛田一雄氏は，「メモリー・メーカーからの受注獲得が当面の注力課題」，「大手半導体メーカー3社以上から，それぞれ複数台の受注，もしくは受注目前の段階にある」など，これまで受注を多く獲得し切れていなかった大手半導体メーカーにも，同社の露光装置が浸透しつつある点を強調した。今回の説明会から，S620の受注状況と処理能力に関する発言を中心に紹介する。