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電子・機械

Tech-On!

1台で材料,デバイス,プロセスに対応可能な半導体特性評価装置,Keithley

2010年02月23日  RSS 

I-V特性評価モジュール「4225-PMU」のイメージ。米Keithley Instruments, Inc.のデータ。
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 米Keithley Instruments, Inc.は,同社の半導体特性評価装置「4200-SCS」のオプションとして,I-V特性評価モジュール「4225-PMU」を発表した(英文の発表資料)。今回の4225-PMUを使うと,評価装置としては4200-SCSの1台だけで材料,デバイス,プロセスの3種類の特性評価が可能になる。従来,I-V特性を測る時には,専用装置を用意する必要があった。

 今回の4225-PMUは,高速の電圧波形発生と同時電流・電圧測定機能を4200-SCSに加えるためのものである。同社は,「高速のI-V印加測定をDC測定のように,容易に実現できるようにした」とする。

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