オランダASM Lithgraphy社は，変型照明技術をプログラム制御で実現するための露光装置への追加ユニット「FlexRay（Free Form Programable Illumination）」を，ロジックLSIメーカーに出荷したことを公表した。

　現在の露光技術では，量産時のプロセス・ウィンドウを確保するため，それぞれの露光条件に合わせた個別かつ複雑な瞳面形状が必要になっている。この瞳面形状を実現するため，これまでは専用の回折光学素子（DOE:diffractive optical element）を個別に設計，製造していた。この結果，新しい瞳面形状を実現するのに6〜8週間を要していた。これに対してFlexRayでは，個別に調整できるマイクロミラーを数千個集積したアレイを，DOEの代わりに使う。このアレイはプログラム制御が可能なため，新しい瞳面形状を数分で実現できる。