東京エレクトロン（TEL）は，ベルギーIMECと進めていたEUV（extremeultra violet）露光技術に関する協業を拡大することで合意したと発表した。発表によれば，IMECは300mmウエハー対応のEUV露光技術の開発施設を2010年6月に稼働させる予定であり，ここにはTELがレジスト塗布・現像装置「CLEAN TRACK LITHIUS Pro」を，オランダASM Lithography社が2010年第4四半期にEUV露光装置「NXE：3100」を，それぞれ納入する。この2台を接続，22nmノード以降をターゲットとしたEUV露光技術を開発する。
電子・機械
『壊れ行く国〜なぜ日本は三流国に堕ちたのか』
掲載した記事を再編集・構成した書籍『壊れ行く国 〜なぜ日本は三流国に堕ちたのか』が出来上がりました。鳩山内閣の誕生から鳩山・小沢両氏の辞任、菅内閣誕生までの政治経済の問題点を4人の論客が鋭く指摘しています。お求めはAmazonもしくは日経BP書店まで。
（目次や本文の一部がご覧になれます）
