静岡大学 工学部機械工学科の真田俊之助教は，薬液を使わずに水だけで洗浄する技術を開発したと発表した。工業プロセス向けの枚葉式洗浄技術で，新エネルギー・産業技術総合開発機構（NEDO）の助成事業の一環として開発した。
水蒸気と水を混合噴射させるもので，凝縮効果の高い水蒸気を使うことで濡れにくい極微細な表面でも濡らすことが可能となり，高い洗浄力が得られるという。nmスケールの極小の異物なども対象物を傷つけることなく洗浄・除去できる。また，従来はレジストやポリマの除去にそれぞれ異なった薬液が必要だったが，今回開発した洗浄方法を使うと一度に済ませられるようになり，製造コストも削減可能。極微量の薬液を混ぜればさらに洗浄能力を高められるという。静岡大学では，半導体デバイスやプリント基板，光学レンズ，大型ガラスだけでなく，医療器具や食品，一般家庭での洗浄などへの適用が期待できるとしている。
