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NTT研が解像度100倍の3次元微細加工技術を開発

2004年2月4日
　NTTは、電子ビーム・リソグラフィを使う3次元微細加工技術を開発し、直径60μmと世界最小の地球儀を作成した。これまでの3次元加工技術より解像度を約100倍向上させ、最小線幅10nmを実現した。NTTは、この技術をナノ電子デバイスの作成に応用していく予定である。（野澤　哲生）

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